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國內(nèi)半導體封測領域某頭部企業(yè),8英寸線月產(chǎn)能已達6萬片。2021年底公司12寸特色工藝晶圓生產(chǎn)線月產(chǎn)能已達4萬片,先進化合物半導體制造生產(chǎn)線月產(chǎn)能已達7萬片,工廠矩陣式布局,標準化的操作流程,兩班倒交替作業(yè),工廠7*24小時生產(chǎn)
實現(xiàn)晶圓在AGV旋轉(zhuǎn)臺-花籃-探針臺之間的自動取放料。
復合移動機器人在多機臺之間穿梭作業(yè),實現(xiàn)柔性搬運。
實現(xiàn)OCR自動識別功能。
車間采用嘉智達復合移動機器人生產(chǎn)方案實現(xiàn)晶圓在AGV旋轉(zhuǎn)臺-花籃-探針臺之間的自動取放料。
機械手末端采用防抖模式優(yōu)化,解決與晶圓接觸產(chǎn)生的碰撞和劃傷問題。
旋轉(zhuǎn)定位平臺輔助機械手進行二次的定位和對位,確保取放精度。